Atomax噴嘴：半導體行業高精度噴涂的解決方案

發布日期：2025-05-15      瀏覽次數：11

在半導體制造中，噴涂工藝的精度和可靠性直接影響芯片的質量與性能。無論是光刻膠的均勻涂覆、清洗液的精細霧化，還是功能性材料的精準沉積，都需要噴嘴具備高的穩定性、耐腐蝕性和抗堵塞能力。Atomax二流體噴嘴憑借其技術特性，成為半導體行業高精度噴涂的理想選擇，為先進制程提供可靠保障。

1. 超高精度霧化，滿足半導體微米級工藝需求

Atomax噴嘴采用先進的二流體霧化技術，能夠將液體破碎成幾微米的超細液滴，實現納米級均勻分布。例如，在光刻膠噴涂中，Atomax噴嘴可替代傳統旋涂工藝，以極低的流量精準控制膠液覆蓋，避免材料浪費，同時確保晶圓表面形成無缺陷的均勻薄膜。其霧化粒徑可精確調控，適應不同工藝的需求，為光刻、蝕刻等關鍵制程提供穩定支持。

2. 高純度耐腐蝕材料，確保長期穩定運行

半導體制造涉及多種強酸、強堿及有機溶劑，普通噴嘴易受腐蝕，導致雜質析出，影響芯片良率。Atomax噴嘴采用PEEK樹脂、SUS316L不銹鋼等高性能材料，具有強的耐化學腐蝕性，可長期耐受各類清洗劑、蝕刻液及功能性涂料，避免污染風險。此外，其材料具備優異的耐高溫性能，適用于CVD、PVD等高溫沉積工藝，確保在嚴苛環境下仍能穩定工作。

3. 抗堵塞設計，保障連續生產

傳統噴嘴在噴涂高粘度液體或漿料時容易堵塞，導致工藝中斷，增加維護成本。Atomax噴嘴采用外置混合結構+大孔徑流路設計，液體通道為直線型，無內部滯留區域，堵塞風險極低。其噴霧孔徑比普通噴嘴大10~200倍，可輕松處理高粘度光刻膠、漿料及納米顆粒懸浮液，大幅減少停機清洗頻率，提升生產效率。

4. 靈活可控，適配多樣化半導體工藝

• 精準流量調節：支持超低流量霧化（可低至毫升/分鐘級別），滿足半導體制造中對微量噴涂的嚴苛要求。

• 模塊化設計：體積小巧，易于集成到現有設備，適用于空間受限的晶圓清洗、噴涂系統。

• 定制化服務：可根據工藝需求調整噴嘴孔徑、噴霧角度及流量參數，適配不同制程的噴涂需求。

5. 實際應用場景

• 光刻膠噴涂：替代旋涂，減少材料浪費，提升均勻性。

• 晶圓清洗：超細霧化清洗液，實現高效去污，避免損傷微結構。

• 功能性涂層沉積：精準控制薄膜厚度，提升CVD/PVD工藝質量。

結語

Atomax二流體噴嘴以高精度霧化、強耐腐蝕、抗堵塞、長壽命等核心優勢，成為半導體行業噴涂工藝的可靠伙伴。無論是提升良率、降低耗材成本，還是優化制程穩定性，Atomax都能提供解決方案。選擇Atomax，讓您的半導體制造工藝更精準、更高效！